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功率器件分析儀/曲線追蹤儀是目前市場上唯一能夠對次微微安電平至 3000 V 和 20 A 的大功率

器件進行表征的綜合解決方案。它能夠使用寬帶隙材料，例如碳化硅（SiC）或氮化鎵（GaN），對

最新的功率器件進行測試。它擁有分別支持強電流（HCSMU）和高電壓（HVSMU）的單獨模塊。

它還支持大功率 SMU（高達 1 A/200 V）和多頻率電容測量單元（高達 5 MHz）。其 10 插槽

模塊化結構使您能夠完全按照您的方法配置。 

軟件環境包括曲線追蹤儀，支持您輕松地檢查器件特征和探測器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣，

提供了旋鈕來控制獨立的掃描變量，以便對參數（例如擊穿電壓）進行直觀的實時測試。的內置硬盤

可自動存儲測量設置信息和數據，并傳輸到 USB 閃存及其他便攜存儲器。將分析結果匯總之后，它

還可以輕松地打印圖形測量數據，并復制粘貼到報告中。 

適當的測試夾具解決方案對于確保安全（由于使用高電壓和強電流）和支持各種功率器件封裝類型極

為重要。曲線追蹤儀先前受功率器件大小的限制，無法對某些器件進行測試，或者為了測試某一器件

必須臨時裝配適配器。然而，通過一個大型夾具適配器和定制的夾具模塊，不論器件的大小或形狀如

何，它的測試夾具可連接各種器件，例如 MOSFET、二極管和 IGBT。此外，測試夾具的內置互鎖

機制可確保在測試器件過程中安全地應用高電壓和強電流。

一般特性

基于 PC 的儀器，具有 Windows ® XP Professional 操作系統 

具有旋鈕掃描功能的曲線追蹤模式 

針對 HPSMU、HVSMU、HCSMU 和 MFCMU 模塊的 10 個模塊插槽 

通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進行離線數據分析和應用測試開發 

測量能力

大功率 SMU 的測量范圍是 10 fA 至 1 A 與 2 µV 至 200 V 

強電流 SMU 的測量范圍是 10 pA 至 20 A 與 200 nV 至 40 V 

高電壓 SMU 可在 3000 V 時執行次微微安泄漏測量 

多頻率（1 kHz 至 5 MHz）電容測量單元可在高達 3000 V 直流偏置時測量電容 

源能力

高電壓 SMU 可在 8 mA 時提供 1500 V 的電壓或在4 mA（脈沖或直流）時提供 3000 V 的電

壓；脈沖寬度為 500 µs 至 2 s 

強電流 SMU 可在 20 V（脈沖）時提供 20 A 的電流，在 40 V（直流）時提供 1 A 的電流；脈

沖寬度為 50 µs 至 1 ms 

高電壓 SMU 可在 8 mA 時提供 1500 V 的電壓或在4 mA（脈沖或直流）時提供 3000 V 的電

壓；脈沖寬度為 500 µs 至 2 s 

強電流 SMU 可在 20 V（脈沖）時提供 20 A 的電流，在 40 V（直流）時提供 1 A 的電流；脈

沖寬度為 50 µs 至 1 ms